下载半导体存储器件的技术资料

文档序号:40312945

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一种半导体存储器件包括:基板,包括沟槽和接触凹陷;直接接触,设置在沟槽内部并具有比沟槽的宽度小的宽度;位线结构,设置在直接接触上并具有比沟槽的宽度小的宽度;间隔物结构,设置在直接接触的侧表面和位线结构的侧表面上;以及掩埋接触,通过间隔物结构...
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