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本技术公开了一种晶圆传输监测系统，包括：晶圆缓存箱；清洗夹爪，用于夹持晶圆并将其向晶圆缓存箱输送，其设有晶圆在位传感器，该晶圆在位传感器用于检测清洗夹爪上是否夹持有晶圆；中转工位，设有用于夹持晶圆的爪部，及用于检测爪部打开或闭合的位置传感器...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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