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本发明提供一种能够根据检查内容容易地改变检查单元的数量，并且能够大幅缩短检查单元的维护所花费的时间的检查系统。检查系统具有检查基片的多个检查单元。上述多个检查单元各自构成为单元，并包括：进行上述基片的检查的测试器；保持上述基片并使该基片相对...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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