【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种检查系统。
技术介绍
1、在专利文献1中公开了一种检查系统，其包括：单元格塔架(cell tower)，其具有对多个基片(晶片)进行检查的多个单元格(检查单元)；和进行基片的送出送入的装载机。此外，为了更换检查中使用的主板等，该检查系统采用能够从各检查单元取出测试头的构成。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2017-112387号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术问题
2、本专利技术提供一种能够根据检查内容容易地改变检查单元的数量，并且能够大幅缩短检查单元的维护所花费的时间的技术。
3、用于解决技术问题的技术方案
4、依照本专利技术的一方式，提供一种具有检查基片的多个检查单元的检查系统，上述多个检查单元各自包括：进行上述基片的检查的测试器；保持上述基片并使该基片相对于上述测试器相对移动的移动部；以及收纳上述测试器和上述移动部的机架构造体，一个检查单元的上述机架构造体包...
【技术保护点】
1.一种具有检查基片的多个检查单元的检查系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的检查系统，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的检查系统，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的检查系统，其特征在于：
6.根据权利要求4或5所述的检查系统，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的检查系统，其特征在于：
8.根据权利要求2～5中任一项所述的检查系统，其特征在于：
9.根据权利要求1～5中任一项所述的检查系统，其特征在于：
...【技术特征摘要】
1.一种具有检查基片的多个检查单元的检查系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的检查系统，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的检查系统，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的检查系统，其特征在于：
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：远藤朋也，小西显太朗，石田祐己，藤原润，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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