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存储器装置和该存储器装置的制造方法制造方法及图纸
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下载存储器装置和该存储器装置的制造方法的技术资料
文档序号:40312617
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提供一种存储器装置和该存储器装置的制造方法。该存储器装置包括叠层结构,该叠层结构包括彼此交替层叠的层间绝缘层和栅极线。数据存储层可以被形成为垂直贯穿叠层结构。数据存储层可以包括多个铁电层。可以形成由数据存储层围绕的沟道层。...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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