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本发明提供一种用于检测硅片损伤层的检测液及其应用，涉及单晶硅检测液技术领域，将体积比为1~10：1的铬酸溶液、氢氟酸铬酸溶液互配成检测液，单晶硅片的损伤层在检测液中会引起应力场，进行各向异性的腐蚀，使得损伤层的腐蚀速率加快，与完整晶格产生极...该专利属于宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种用于检测硅片损伤层的检测液及其应用，涉及单晶硅检测液技术领域，将体积比为1~10：1的铬酸溶液、氢氟酸铬酸溶液互配成检测液，单晶硅片的损伤层在检测液中会引起应力场，进行各向异性的腐蚀，使得损伤层的腐蚀速率加快，与完整晶格产生极...