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[问题]本发明提供一种在光刻工序中减少驻波的方法。[解决方案]一种使用含有具有特定结构的有机酸化合物(AA)的组合物在光刻工序中减少驻波的方法。在平行于基板(2)的方向上波腹(3)和波节(4)之间的距离被称为腹节间距离(5)。腹节间距离(5...
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