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一种用于保持衬底的衬底保持器，包括框架和表面夹持装置，所述表面夹持装置被布置于所述框架的底侧，所述表面夹持装置被配置为从所述衬底上方以静电方式吸引所述衬底的上表面。所述衬底保持器可以用于非接触地保持所述衬底并且使所述衬底变形，并且由此控制所...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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