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本发明公开了一种光刻机晶圆制造过程中的晶圆台除尘方法，该方法包括：在石墨除尘工具中央设置真空除尘线和清洁剂线，所述真空除尘线和所述清洁剂线从所述除尘工具支撑部中央连通所述石墨除尘工具的外部；在执行除尘的过程中，喷洒清洁剂，以清洁剂清洁晶圆表...
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