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提供了用于使用反馈回路来调整束电流的装置、系统和方法。在一些实施例中，系统104可以包括：第一阳极孔120b，被配置为在样品170的检查期间测量发射束161的电流，其中该第一阳极孔被定位在被配置为支持小于3×10<supgt;‑10&...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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