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在处理室内使用的喷头包括第一入口，该第一入口用于在该喷头中限定的内部充气腔的中心区域处接收来自第一源的第一气体。沿着喷头的外围区域限定多个第二入口，以用于接收来自第二源的第二气体。多个管道将边缘充气腔耦合到内部充气腔的外边缘，以便将第二气体...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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