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一种对衬底进行图案化的方法，包括在衬底上形成多层光刻胶堆叠体。多层光刻胶堆叠体包括通过气相沉积而沉积的干式光刻胶层，该干式光刻胶层位于通过旋涂沉积而沉积的湿式光刻胶层之上。通过曝光于第一波长的第一光化辐射图案并使用第一显影工艺对湿式光刻胶层...
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