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磁控溅射镀膜厚度的调试方法技术
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文档序号:40277795
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一种磁控溅射镀膜厚度的调试方法包括步骤:S1,准备衬底片;S2,选定磁控溅射工艺参数;S3,在选定的工艺参数下进行磁控溅射;S4,测量磁控溅射的薄膜的厚度;S5,如果测量得到的薄膜的厚度小于最小厚度,则进行步骤S6,如果测量得到的薄膜的厚度...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。
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