下载JFET区源极接触的抑制电压过冲的埋沟U槽屏蔽型SiC VDMOSFET结构的技术资料

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本发明公开JFET区源极接触的抑制电压过冲的埋沟U槽屏蔽型SiC VDMOSFET结构,包括碳化硅外延层具有埋沟式U槽并在栅源之间纵向的N/P+2/polySi背靠背二极管和JFET区上方形成肖特基接触,实现钳位稳压的作用,同时将元胞的P阱...
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