下载键合片键合定位工装的技术资料

文档序号:40250592

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本技术涉及半导体材料加工技术领域,尤其涉及一种键合片键合定位工装。所述键合片键合定位工装,包括本体;所述本体设有第一定位平台;所述第一定位平台用于承载并定位上键合片,或所述第一定位平台用于承载并定位第二定位平台;所述第二定位平台设有限位滑块...
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