下载安装装置及半导体器件的制造方法的技术资料

文档序号:40236564

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本发明提供安装装置及半导体器件的制造方法。提供能够提高元件的侧面的异常检查的精度的技术。安装装置具备:镜子,其以相对置的方式设置有至少一对;拍摄装置,其以裸芯片及所述镜子的反射面位于视场内的方式设置;照明装置,其沿着所述拍摄装置的光学轴照射...
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