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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:40236467
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一种半导体器件包括:具有一个或多个侧壁和顶表面的第一垂直定向半导体柱,所述第一垂直定向半导体柱具有第一宽度;与第一垂直定向半导体柱的一个或多个侧壁邻接的第一电介质材料;以及具有第一表面且具有大于第一宽度的第二宽度的第一导电结构,所述第一导电...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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