下载微电路之间基于块的互连结构的制造方法的技术资料

文档序号:40235086

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种使用CMOS技术制造电子电路的方法,该方法包括:(a)金属沉积(200)和蚀刻以在衬底中的第一层级形成金属连接(P、P'、…)的步骤,(b)沉积覆盖金属连接的介电材料层(110、…)的步骤,(c)在介电材料的厚度中产生贯通通路...
该专利属于上海虹感微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海虹感微电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。