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本发明公开了一种半导体材料化学镀膜设备，包括治具，其内部设有用以容置待镀膜的半导体材料的腔体；固定支架，用以固定治具；还包括转动装置，与治具连接，用以带动治具转动；输入组件，其包括若干根同时与治具第一端入口连通的进液管道，且每一根进液管道分...
该专利属于苏州市富一达智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州市富一达智能科技有限公司授权不得商用。

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