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在一些实施例中，本技术是关于一种半导体工艺系统，包括第一半导体工艺地点和第二半导体工艺地点。所述系统包括一辆无人电动车，配置为在第一半导体工艺地点和第二半导体工艺地点之间承载可携式洁净室储料器。可携式洁净室储料器配置为在运输过程中保持可携式...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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