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半导体装置和制造该半导体装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:40197906
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提供了一种半导体装置和制造该半导体装置的方法,所述半导体装置包括:基底,包括有源图案;一对沟道图案,在有源图案上沿第一方向彼此间隔开,所述一对沟道图案中的每个包括竖直地堆叠的半导体图案;源极/漏极图案,在所述一对沟道图案之间;一对栅电极,在...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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