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本发明公开了一种高精度晶圆分选机，属于晶圆分选技术领域，包括分选本体，分选本体的内部配置有分选腔室，分选腔室内设有移动台和检测组件，检测组件设于移动台的上方；移动台配置吸附组件；吸附组件包括支撑盘，支撑盘的底部与移动台相配合，支撑盘内部与移...
该专利属于无锡星微科技有限公司杭州分公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡星微科技有限公司杭州分公司授权不得商用。

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