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本申请公开一种清洁装置。所公开的清洁装置包括箱体(10)、冷凝部(20)、加热器(30)和承载座(40)，箱体(10)具有容置空间(13)，冷凝部(20)和承载座(40)均位于容置空间(13)中，且冷凝部(20)位于承载座(40)的上方；承...该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。
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本申请公开一种清洁装置。所公开的清洁装置包括箱体(10)、冷凝部(20)、加热器(30)和承载座(40)，箱体(10)具有容置空间(13)，冷凝部(20)和承载座(40)均位于容置空间(13)中，且冷凝部(20)位于承载座(40)的上方；承...