下载一种三代半导体用等静压石墨治具散热台的技术资料

文档序号:40193330

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本发明涉及等静压石墨加工设备领域,具体是涉及一种三代半导体用等静压石墨治具散热台,包括机架,以及安装在机架上的石墨治具,机架上还设置有保温筒和冷却筒,机架上固定安装有直线驱动器,直线驱动器驱动石墨治具在保温筒和冷却筒内部沿竖直方向移动;保温...
该专利属于福建福碳新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建福碳新材料科技有限公司授权不得商用。

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