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晶圆测试机以及晶圆测试方法及系统技术方案
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文档序号:40187180
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本揭示内容提供一种晶圆测试方法,包含:将多个测试程序指定给多个晶圆,其中每一测试程序包含用以量测晶圆参数的测试演算法;设定用于多个测试程序的多组测试条件;以及通过根据相应的一组测试条件执行相应的测试程序来测试晶圆中的至少一者。晶圆测试方法执...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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