下载搜索装置以及搜索方法和半导体装置制造系统的技术资料

文档序号:40185866

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为了在用户的机器学习的专门的知识不是必需的情况下,能够活用对于从所蓄积的大量的参考处理数据之中搜索目标处理条件来说最佳的参考处理数据,搜索装置通过使用学习模型来预测与半导体制造装置的所期望的处理结果对应的制造条件,从而搜索与所期望的处理结果...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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