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本发明公开了一种新型的RCA清洗机HARD CLEAN工艺，HARD CLEAN程序包括：热处理前清洗、多晶前清洗、背封前清洗、抛光前清洗、抛光后清洗和最终清洗，通过HARD CLEAN程序从每两个月执行一次调整为每个月执行一次，每次滤芯更...
该专利属于上海合晶硅材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海合晶硅材料股份有限公司授权不得商用。

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