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本发明公开的一种氮化镓衬底激光切片方法及系统，包括：将脉冲激光以第一设定能量从氮化镓衬底未长有器件层的N面向氮化镓衬底内部入射，至氮化镓衬底特定深度处并聚焦，对氮化镓衬底进行第一次扫描,在氮化镓衬底内部各激光聚焦点处形成空腔；将脉冲激光以第...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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