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本发明提供旋转装置，该旋转装置抑制残留在收纳室内的液体伴随着旋转工作台的旋转的卷起。旋转装置具有：旋转工作台，其对板状物进行保持而进行旋转；液体提供喷嘴，其向该旋转工作台所保持的该板状物提供液体；收纳室，其收纳该旋转工作台；以及废液路，其与...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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