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本发明提供了一种基于表面光栅的垂直外腔面发射半导体激光器及制备方法，该激光器包括：泵浦光源、增益芯片和输出耦合镜泵浦光源用于发射泵浦光；增益芯片设于泵浦光的光路上，包括表面光栅反射镜，用于在泵浦光的激发下产生激光，并通过表面光栅反射镜将激光...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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