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本公开提供了一种形变矫正装置，包括：双层铰链结构，上下叠置，每层铰链结构均包括十六路矫正单元，对称的设置在四个方位，用于控制掩模的形变；导流结构，设于双层铰链结构下方，中间区域预留掩模的安装区域，当气流吹向导流结构时，导流结构将气流引向四周...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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