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本发明提出一种预湿腔内外气压平衡控制装置及方法，通过在预湿腔上设置进气口和与进气口相连接的进气管道且进气管道连接预湿腔外部大气压，用以平衡预湿腔内外的气压，无需另外设置安装检测部件，同时也无需对其进行额外的操作，便能够在预湿腔破真空后,打开...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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