下载一种沟槽氧化层结构及电子设备的技术资料

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本技术提供了一种沟槽氧化层结构及电子设备,涉及半导体技术领域;沟槽氧化层结构包括:外延片;位于外延层外的沟槽;填充于沟槽内的第一多晶硅层、第二多晶硅层以及氧化层;第二多晶硅层包括第一多晶硅区,第二多晶硅区;第一多晶硅区位于第二多晶硅区下方;...
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