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本发明为一种基于KMnO<subgt;4</subgt;‑Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;体系的Mn氧化物增效4H‑SiC化学机械抛光液。所述抛光液包括氧化剂KMnO...
该专利属于河北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北工业大学授权不得商用。

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