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本申请提供一种升温装置，包括：进气管道，所述进气管道的管径向出气方向逐渐减小；出气管道，所述出气管道的管径向所述出气方向逐渐增大，且所述出气管道与所述进气管道的管径最小处形成辅助气体通道，且所述辅助气体通道和所述出气管道、所述进气管道相通；...
该专利属于中芯北方集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯北方集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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