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本技术公开了一种晶圆曝光机，其包含有一机台、一图形板、一承载台、一样品片置放架及一工作片置放架，该图形板固定于机台，该图形板上形成有特定电路布局的图案，该承载台可相对机台升降移动，该承载台与图形板位置相对应，且位于图形板的下方，该样品置放架...
该专利属于科毅科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科毅科技股份有限公司授权不得商用。

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