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本发明提供设置用于检验样品的关注区域(CA)的方法及系统。一个系统包含经配置用于产生样品图像的成像子系统及经配置用于确定在所述样品上形成的重复图案化区域中产生的图像中的一或多者内的预定义单元中检测到的缺陷数量的计算机子系统。所述计算机子系统...
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