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本发明公开了一种光纤点衍射移相干涉仪的平面面形测量方法，属于光学测量技术领域。首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射，经辅助正透镜汇聚到参考光纤的倾斜端面并再次反射，与参考光纤衍射的球面波汇合而发生干涉，干涉图用标准方法分析和处理；该步...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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