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用于先进的集成电路结构制造的栅极切割和鳍片修整隔离制造技术
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下载用于先进的集成电路结构制造的栅极切割和鳍片修整隔离的技术资料
文档序号:40148852
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本公开的实施例属于先进的集成电路结构制造的领域,并且具体为10纳米节点以及更小的集成电路结构制造和所得到的结构。在示例中,一种方法包括形成多个鳍片并在所述多个鳍片上形成多个栅极结构。在所述多个栅极结构中的相邻的栅极结构之间形成电介质材料结构...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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