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一种用于优化图案化装置图案的方法，该方法包括：获得具有多个多边形的初始设计图案；使多边形中的至少一些多边形有效地彼此连接；将评估特征放置在多边形的边界之外；以及基于评估特征来创建跨越已连接的多边形的图案化装置图案。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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