温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开实施例公开了一种微机电结构及电子设备，该微机电结构包括衬底、振膜和背极板，背极板包括第一导电区域和第二导电区域，所述第一导电区域与所述悬空部位置相对并位于所述支撑结构的内侧，所述振膜与所述第二导电区域之间电连接，且所述第一导电区域和所...
该专利属于歌尔微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔微电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。