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半导体存储器装置和半导体存储器装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:40132122
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提供了一种半导体存储器装置和半导体存储器装置的制造方法。该半导体存储器装置的制造方法包括以下步骤:在初步掺杂半导体结构上方层叠多个第一材料层和多个第二材料层;形成穿透多个第一材料层和多个第二材料层并延伸到初步掺杂半导体结构的内部的阻挡绝缘层...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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