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本公开提供了一种用于半导体器件高压测试装置的监控机构及测试方法，其中监控机构包括传感组件及定位组件，传感组件用于持续监控半导体器件与探针组件之间是否出现打火情况；定位组件用于在半导体器件与探针组件之间出现打火情况时，定位打火位置在半导体器件...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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