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本发明涉及一种硅单晶的制造方法及硅单晶提拉装置，进行硅熔融液的渗出监视及籽晶的触液检测，并且实现可耐长时间提拉的石英玻璃坩埚的强化及硅单晶的杂质浓度的降低。本发明的硅单晶的制造方法包括如下步骤：使安装在导线１８的前端的籽晶与石英玻璃坩埚１４...该专利属于日本超精石英株式会社;胜高股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本超精石英株式会社;胜高股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种硅单晶的制造方法及硅单晶提拉装置，进行硅熔融液的渗出监视及籽晶的触液检测，并且实现可耐长时间提拉的石英玻璃坩埚的强化及硅单晶的杂质浓度的降低。本发明的硅单晶的制造方法包括如下步骤：使安装在导线１８的前端的籽晶与石英玻璃坩埚１４...