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本技术涉及一种晶圆片倒盒治具，它包括：底板；晶圆盒、开设在所述晶圆盒内的晶圆腔以及开设在所述晶圆盒内侧壁上的晶圆槽，所述晶圆盒有两组且相对设置，其中一组晶圆盒固定在底板顶部，另一组晶圆盒可调节地设置在底板的顶部，所述晶圆片插设在其中一组晶圆...
该专利属于无锡市华宇光微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市华宇光微电子科技有限公司授权不得商用。

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