下载相变化材料装置及相变化材料射频开关的技术资料

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一种相变化材料装置及相变化材料射频开关,相变化材料装置的改良结构用以有助于防止热散逸。在一个实例中,相变化材料装置为一相变化材料射频开关,相变化材料射频开关具有一基板、一加热器、一介电/绝缘体层、多个氧化层、多个电极、一相变化材料区及/或任...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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