【技术实现步骤摘要】
本揭露关于相变化材料装置及相变化材料射频开关。
技术介绍
1、相变化材料(phase change material，pcm)为以非晶相及以结晶相存在的材料。从这个意义而言，几乎任何材料皆为相变化材料。然而，如此项技术所理解，相变化材料需要满足取决于具体应用的若干属性。由于相变化材料的第一个商业应用处于可重写光学数据存储阶段，因此相对于变化材料的诸如在所需波长下的强光学对比度的光学属性而最佳化变化材料。对于pcm，其他材料属性为重要的，且需要不同的材料最佳化。实例相变化材料属性包含低熔融温度、相对高结晶温度、低热导率、高结晶活化能、相对高电阻、稳定电阻位准、高结晶速度及/或任何其他属性。
2、众所周知，针对扭曲的岩盐状结构，可获得ge-sb-te合金中最稳定的结晶相。ge-sb-te系的许多相变化材料，诸如ge1sb4te7、ge1sb2te4、ge2sb2te5及ge3sb2te6，除了非晶-结晶相转变以外，在进一步退火时亦呈现金属-绝缘体转变。
3、射频(radio frequency，rf)开关可以使用pc...
【技术保护点】
1.一种相变化材料射频开关，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的相变化材料射频开关，其特征在于，其中该多个氧化层的一厚度等于该加热器组件的一厚度与该介电层的一厚度的组合。
3.如权利要求1所述的相变化材料射频开关，其特征在于，进一步包括位于该加热器组件与该基板之间的一绝缘层。
4.如权利要求1所述的相变化材料射频开关，其特征在于，其中该介电层具有朝着该相变化材料区逐渐变细的一锥形形状。
5.如权利要求1～4其中任一项所述的相变化材料射频开关，其特征在于，其中该多个氧化层包括位于该加热器组件的一右侧上的一第一氧化层及...
【技术特征摘要】
1.一种相变化材料射频开关，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的相变化材料射频开关，其特征在于，其中该多个氧化层的一厚度等于该加热器组件的一厚度与该介电层的一厚度的组合。
3.如权利要求1所述的相变化材料射频开关，其特征在于，进一步包括位于该加热器组件与该基板之间的一绝缘层。
4.如权利要求1所述的相变化材料射频开关，其特征在于，其中该介电层具有朝着该相变化材料区逐渐变细的一锥形形状。
5.如权利要求1～4其中任一项所述的相变化材料射频开关，其特征在于，其中该多个氧化层包括位于该加热器组件的一右侧上的一第一氧化层及位于该加热...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄昶智，陈汉誉，陈佑昇，曾国权，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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