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披露了一种使用量测工具测量衬底上的目标的方法，所述量测工具包括：照射源，所述照射源能够操作以发射用于照射所述目标的照射束；以及量测传感器，所述量测传感器用于收集已经由所述目标散射的散射辐射。所述方法包括：基于以下各项计算目标角：所述目标的单...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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