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本发明提供了一种晶圆老化测试装置，涉及晶圆测试技术领域。支撑结构具有位于夹具下方的至少一个探针台，探针台具有与晶圆加电板接触的多个第一探针，至少一组线路开关板组设置在支撑结构的旁侧，每组线路开关板组包括具有多个开关的至少一个线路开关板，每组...
该专利属于苏州联讯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州联讯仪器股份有限公司授权不得商用。

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