【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆测试，特别是涉及一种晶圆老化测试装置。
技术介绍
1、在晶圆生成完成后，需要对晶圆进行老化测试。一般地，晶圆老化测试包括加电测试和加温测试，以测试晶圆的老化性能。所以晶圆老化测试装置的设计对晶圆老化测试是比较重要的。在加电测试过程中，需要通过多种加电线路来实现对晶圆进行不同的加电测试，所以会用到多个线路开关板。
2、现有技术中，如果将对晶圆进行加电测试的线路开关板都直接安装在晶圆老化测试装置中会占用很大的安装空间，所以一般是设置一个线路开关板的安装位，不停地更换线路开关板，从而实现对晶圆的所有加电测试，这种测试方式比较耗时，且不便于测试人员操作。
技术实现思路
1、本专利技术的一个目的是要提供一种晶圆老化测试装置，解决现有技术中对晶圆老化测试比较耗时的技术问题。
2、本专利技术的另一个目的是要使得晶圆老化测试装置的结构更紧凑。
3、根据本专利技术的目的，本专利技术提供了一种晶圆老化测试装置，用于对夹具内的晶圆进行老化测试，所述夹具包括晶...
【技术保护点】
1.一种晶圆老化测试装置，其特征在于，用于对夹具内的晶圆进行老化测试，所述夹具包括晶圆加电板，所述晶圆老化测试装置包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，
6.根据权利要求1-5中任一项所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：
<...【技术特征摘要】
1.一种晶圆老化测试装置，其特征在于，用于对夹具内的晶圆进行老化测试，所述夹具包括晶圆加电板，所述晶圆老化测试装置包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆老化测试装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的晶圆老化测试装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：廉哲，周斌，郭孝明，徐鹏嵩，
申请(专利权)人：苏州联讯仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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